在整個凈化車間工程過程中，以及使用凈化車間的過程中，我們應該做好環境凈化監視，主要記錄：靜態環境塵埃粒子、動態環境塵埃粒子、風速風量及換氣次數監測、壓差監測、溫濕度監測、高能效過濾器監測、空氣懸浮粒子監測等。
   凈化車間工程的污染源可分為外污染源和內污染源，外污染源主要包括空調送風、建筑物、工作服、風管材料以及供水、溶劑等；而污染源則包括制造設備、工作人員、工具、加工制造、工作桌、包裝材料等。

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   防止外部灰塵侵入，凈化車間工程室內應保持適當的正壓；做好施工工程不漏氣；設備、原材料搬入潔凈室前，先做好清潔擦拭等防塵工作；空氣過濾器的管理和設置等。防止室內灰塵，主要控制凈化車間工程墻、地板等材料，控制制造設備的灰塵、管理潔凈室內的員工、潔凈服、潔凈室設備等。
   室內灰塵不積留，凈化車間墻壁體應光滑去死角、潔凈室需定期保養和清掃、設備四周應留有空間。及時去除空間塵粒，凈化車間工程換氣次數應足夠，適當的空間布置以及污染源接排氣和空調的氣流速度須適當。

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   潔凈室污染環保排放主要分為三種：固態、液態和氣態。對于固態物質的治理處置方法，可分為：物理處理，化學處理，生物處理，固化處理，熱處理。對于液態污染物處理方法，比如強酸強堿分開排放，對于強堿強酸的污染液體可以采用中和的方法，還有一些溶液可以用結晶、析出、蒸餾、電解等。根據廢氣及污染物的產生量、性質、成分、溫度、壓力等，可以選擇先進成熟可靠的廢氣處理工藝，提高廢氣處理的自動化程度，做到及時可靠可控。盡量減少廢氣次生物的產生，減少二次污染和處理。